臭氧分析儀是采用紫外線吸收法的原理，用穩(wěn)定的紫外燈光源產(chǎn)生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經(jīng)過樣品光電傳感器，再經(jīng)過臭氧吸收池后，到達(dá)采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號(hào)比較，再經(jīng)過數(shù)學(xué)模型的計(jì)算，能得出臭氧濃度大小。
臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構(gòu)成。是根據(jù)Lambert and Beer定律推出的。在這個(gè)臭氧濃度計(jì)算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計(jì)算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。
臭氧分析儀的工作原理時(shí)通過空氣樣品以恒定的流速進(jìn)入儀器的氣路系統(tǒng)時(shí)，樣品空氣交替地或直接進(jìn)入吸收池或經(jīng)過臭氧滌除器再進(jìn)入吸收池，此時(shí)臭氧對(duì)254nm波長的紫外光有特征吸收。當(dāng)零空氣樣品通過吸收池時(shí)被光度檢測器測定的光強(qiáng)度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時(shí)，被光度檢測器測定的光強(qiáng)度為I。如此每經(jīng)過一個(gè)周期，儀器的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
