臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。是根據Lambert and Beer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。
臭氧分析儀的工作原理時通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
臭氧分析儀檢測步驟：
1.開啟空調；確認風管有風吹入潔凈空間；
2.給臭氧發生器通入冷卻水；確定臭氧出氣口已用管道導入空調送風或回風管道；然后開啟臭氧發生器；正常開機時間一般為1小時。
3.臭氧濃度檢測儀的開機方法是：長按⊙健（約5秒鐘）；有顯示后放開；暖機時間為120秒；過了暖機時間可以檢測空氣中的臭氧濃度；臭氧濃度以數字形式顯示在檢測儀的顯示板上。臭氧濃度超過20ppm時臭氧分析儀會報警并閃光；大量程是100ppm
4.一般建議按時間段進入潔凈區檢測臭氧濃度；
臭氧發生器工作30分鐘后檢測；
臭氧發生器工作60分鐘后檢測；
如有必要則90分鐘及120分鐘再各檢測；
一般臭氧發生器工作30分鐘后能馬上檢測到臭氧濃度；
工常工作時間為1小時；
如果檢測不到臭氧濃度或偏低則要檢測臭氧是否有導入管道內或者臭氧是否有漏泄；
如果臭氧有漏泄則會導致臭氧濃度偏低；
如果檢測空氣中臭氧濃度過高則控制好的時間即可。
